洁净室等级标准（新规范）
洁净室等级标准
老规范：中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范GBJ73—84
洁净度等级：
|
等级 |
每立方米（每升）空气中 ≥0.5微米尘粒数 |
每立方米（每升）空气中 ≥5微米尘粒数 |
|
100级 |
≤35×100（3.5） |
|
1000级 |
≤35×1000（35） |
≤250（0.25） |
|
10000级 |
≤35×10000（350） |
≤2500（2.5） |
|
100000级 |
≤35×100000（3500） |
≤5000（25） |
老规范已废止，执行新规范。
新规范：中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范GB50073—2001
洁净度等级：
|
空气洁净度 等级(N) |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) |
|||||
|
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
|
1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
8 |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
|
9 |
|
|
|
35200000 |
8320000 |
293000 |
